Ukrainian
Summary:Розглянуті фізичні основи оже-спектроскопії. Запропонований новий метод автоматизації збору експериментальних даних. Приведений порівняльний аналіз фізичних методів дослідження кількісноїоцінкиповерхні твердого тіла.
Reading audience:Для широкого кола читачів – інженерів, аспірантів, наукових співробітників.
Russian
Summary:Рассмотрены физические основы оже-спектроскопии. Предложен новый метод автоматизации сбора экспериментальных данных. Приведен сравнительный анализ физических методов исследования количественной оценки поверхности твердого тела.
Reading audience:Для широкого круга читателей – инженеров, аспирантов, научных сотрудников.